哈默納科離子設(shè)備諧波CSF-14-100-2A-R

數(shù)量(臺) 價格
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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-14-100-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比454
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

離子植入(IonImplantation)? 在擴散制程的末尾描述中哈默納科離子設(shè)備諧波CSF-14-100-2A-R，曾題及擴散區(qū)域之邊緣所在，有側(cè)向擴散的誤差，故限制其在次微米制程上之應(yīng)用。但誠如干蝕法補足哈默納科離子設(shè)備諧波CSF-14-100-2A-R濕蝕法在次微米制程能力不足一樣，此地另有離子植入法，來進(jìn)行圖案更精細(xì)，濃度更為稀少精準(zhǔn)的雜值攙入。? 離子植入法是將III族或IV族之雜質(zhì)，以離子的型式，經(jīng)加速后沖擊進(jìn)入晶圓表面，經(jīng)過一段距離后，大部份停于離晶圓表面0.1微米左右哈默納科離子設(shè)備諧波CSF-14-100-2A-R之深度(視加速能量而定)，故最高濃度的地方，不似熱擴散法在表面上。

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