harmonic單晶硅諧波傳動CSF-17-80-2A-R

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第13年

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-17-80-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)三級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比564
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

學(xué)術(shù)或研發(fā)單位中之電路布局較為簡易，harmonic單晶硅諧波傳動CSF-17-80-2A-R 一套電路布局可全部寫在一片光罩中，或甚至多重復(fù)制。加上使用之硅晶圓尺寸較小，配合使用之光罩本來就不大。所以搭配使用之硅晶圓曝光機臺為一般的「光罩對準(zhǔn)機」(maskaligner，如圖2-7)。換言之，一片晶圓只需一次對準(zhǔn)曝光harmonic單晶硅諧波傳動CSF-17-80-2A-R ，便可進行之后的顯影及烤干程序。但在業(yè)界中，使用的晶圓大得多，我們不可能任意造出7吋或9吋大小的光罩來進行對準(zhǔn)曝光：一來電子束書寫機在制備這樣大的光罩時，會耗損巨量的時間，極不劃算；二來，大面積光罩進行光蝕刻曝光前與晶圓之對準(zhǔn)，要因應(yīng)大harmonic單晶硅諧波傳動CSF-17-80-2A-R 面積精密定位及防震等問題，極為棘手！所以工業(yè)界多采用步進機（stepper）進行對準(zhǔn)曝光

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