產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體材料形貌分析技術(shù):DB FIB、TEM、SEM
DB FIB雙束聚焦離子束:
特點:
雙束聚焦離子束是一種多用途的分析技術(shù),可以用于樣品定位切割并將隱藏在各種基底材 料中的缺陷揭露出來。*常見的用途之一就是制備TEM樣品及截面分析。
服務(wù)項目:
- 橫截面缺陷分析
- 橫截面數(shù)據(jù)量測
- 納米級超薄樣品制備、TEM制樣
- (不做線路修補)
掃描電子顯微鏡(SEM)
掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
服務(wù)項目:
- 形貌觀察、截面觀察、膜厚測量。
透射電子顯微鏡TEM
特點:
透射電子顯微鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高的很多,可以達到0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬~百萬倍。因此,使用透射電子顯微鏡可以用于觀察樣品的精細結(jié)構(gòu),甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結(jié)構(gòu),比光學(xué)顯微鏡所能夠觀察到的*小的結(jié)構(gòu)小數(shù)萬倍。
服務(wù)項目:
- 形貌、膜厚測量、STEM、HAADF。
公司簡介:
廣州廣電計量檢測股份有限公司始建于1964年,是 原信息產(chǎn)業(yè)部電子602計量站,經(jīng)過50余年的發(fā)展,現(xiàn)已成為一家全國化、綜合性的國有第三方計量檢測機構(gòu),專注于為客戶提供計量、檢測、認證以及技術(shù)咨詢與培訓(xùn)等專業(yè)技術(shù)服務(wù),在計量校準、可靠性與環(huán)境試驗、電磁兼容檢測、元器件篩選與失效分析等多個領(lǐng)域的技術(shù)能力及業(yè)務(wù)規(guī)模處于國內(nèi)*水平。
廣電計量在全國建有23個綜合性檢測基地,54個分子公司,形成了覆蓋全國的技術(shù)服務(wù)保障能力,為各行業(yè)和各領(lǐng)域客戶提供便捷計量檢測技術(shù)服務(wù)。
試驗室地點:廣電計量檢測-浦東試驗室(康橋東路958號)