產(chǎn)品詳情
商品描述
在線出售光馳OTFC-1550真空鍍膜機(jī) 光學(xué)鍍膜機(jī) 玻璃鍍膜機(jī)
產(chǎn)品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原裝高配OTFC-1550光馳機(jī)(年份:2015. 11
日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源
275機(jī)械泵+愛(ài)德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
1.產(chǎn)品參數(shù):
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm (可變)
光學(xué)膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機(jī)械泵:排氣系統(tǒng)2個(gè)擴(kuò)散泵Polycold(或2 個(gè)冷凝泵)
- 2. 性能:達(dá)到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時(shí)間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度高:350
- 3. 設(shè)備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
- 4. 電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
- 5. 重量約11000kg
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1、中空負(fù)極等離子噴涂基本原理
在底端真空泵為高真空的情形下，氬氣瓶(1-10-2)從負(fù)極引進(jìn)，在負(fù)極與輔助陽(yáng)極中間提升引弧工作電壓，使氬氣瓶發(fā)亮充放電，在中空負(fù)極造成低電壓等離子充放電，負(fù)極溫度上升到2300-2400K從冷陰極充放電到熱陰極放電，逐漸熱電子發(fā)送，充放電到平衡狀態(tài)。進(jìn)到反映汽體，可做成結(jié)合膜。
二、測(cè)控技術(shù)磁控濺射原理
將真空系統(tǒng)預(yù)抽至10-3Pa，隨后進(jìn)到汽體(比如氬氣瓶)，標(biāo)準(zhǔn)氣壓為1-10Pa在這個(gè)過(guò)程中，向總體目標(biāo)加上負(fù)電壓以造成電弧放電。當(dāng)電子器件在電磁場(chǎng)的積極意義下加快奔向硅片時(shí)，它和氬分子相撞，并水解Ar和另一個(gè)電子器件；躍遷總體目標(biāo)原材料，越來(lái)越多二次電子電離，持續(xù)躍遷總體目標(biāo)原材料；電磁場(chǎng)根據(jù)磁場(chǎng)更改電子的運(yùn)動(dòng)方位，限制和增加電子的運(yùn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)軌跡，進(jìn)而提升價(jià)電子工作中氣體水解幾率。
三、多弧離子鍍工作原理
其原理是冷陰極配建電弧光放電，其物理基礎(chǔ)是當(dāng)場(chǎng)發(fā)送。當(dāng)電鍍材料傳送到負(fù)極，真空系統(tǒng)傳送到陽(yáng)極氧化，真空系統(tǒng)提取到高真空時(shí)，開(kāi)啟電級(jí)驅(qū)動(dòng)器并開(kāi)啟觸碰。這時(shí)，陰極和陽(yáng)極中間產(chǎn)生相對(duì)穩(wěn)定的電弧放電，負(fù)極表層充斥著迅速擺動(dòng)的負(fù)極點(diǎn)，一些正離子對(duì)陰極點(diǎn)躍遷使之變成點(diǎn)蒸發(fā)源，多弧離子鍍層以好幾個(gè)電孤蒸發(fā)源為基礎(chǔ)。
四、電阻器蒸發(fā)鍍膜機(jī)
薄膜材料被放置于揮發(fā)船中，放置于真空系統(tǒng)中。當(dāng)獲取到一定的真空泵時(shí)，薄膜材料根據(jù)電阻器開(kāi)展加溫，使之揮發(fā)。當(dāng)揮發(fā)分子的均值可玩性超過(guò)蒸發(fā)源到底材的線形規(guī)格時(shí)，原子和分子從蒸發(fā)源中逸出，抵達(dá)底材產(chǎn)生膜。為了能讓薄膜厚度勻稱，可以用電機(jī)驅(qū)動(dòng)器底材轉(zhuǎn)動(dòng)，并用薄膜厚度計(jì)操縱薄膜厚度，設(shè)計(jì)出高質(zhì)量塑料薄膜。
五，E原理
負(fù)極鎢絲加熱發(fā)送0.3EV在鎢絲陰極和陽(yáng)極間的靜電場(chǎng)影響下，原始機(jī)械能的熱電子加快并匯聚成束。在磁鐵線圈的磁場(chǎng)中，離子束沿ExB電子能量根據(jù)負(fù)極偏移到10KV，根據(jù)陽(yáng)極氧化電子器件偏移270夾角陽(yáng)極氧化電子器件偏移270夾角，躍遷膜材使之揮發(fā)。
六，PVD鍍晶原理
將電鍍工藝零件放到低電壓光充放電的負(fù)極上，引進(jìn)適度氣體，在一定條件下，根據(jù)化學(xué)變化與直流濺射結(jié)合的全過(guò)程，在工件表面得到鍍層。
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