韓國(guó)2050光學(xué)機(jī)配置表@李總18025286660
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機(jī)械泵
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英國(guó)愛德華275
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羅茨泵
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英國(guó)愛德華EH2600
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擴(kuò)散泵
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單擴(kuò)散泵
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膜厚儀
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美國(guó)英??礗C-5
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電子槍
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日本原裝JEOL單槍)
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離子源
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無韓國(guó)霍爾源
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深冷
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韓國(guó)
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阻蒸
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無
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德國(guó)萊寶APS1104
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尺寸型號(hào):
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1100MM
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離子源
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1個(gè)(APS)
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電子槍
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2把
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泵
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機(jī)械泵,
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擴(kuò)散泵
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美國(guó)POLYCOLD
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阻蒸
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無
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韓一HVC-1600DA
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MODEL
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HVC-1600DA
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EB(電子槍)
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1GUN,,韓一 12穴
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離子源
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韓一,(霍爾)
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機(jī)械泵
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愛德華EM275
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羅茨泵
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愛德華EM2600
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深冷
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韓國(guó)V-PLUS1000H
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晶控
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XTC/3S + 單探頭
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加熱方式
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下加熱鹵燈
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阻蒸
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無
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SIT-2050AF鍍膜機(jī)配置清單
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德國(guó)萊寶SV630B(F):機(jī)械泵一個(gè)
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德國(guó)萊寶WHU4400:羅茨泵一個(gè)
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英福康真空計(jì):1個(gè)
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離子轟擊:1套
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中頻電源:1個(gè)
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進(jìn)口擴(kuò)散泵:2個(gè)
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主控制電柜:一套
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平面靶座:2塊 一套
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8面工件架:一套
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6面工件架:一臺(tái)
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進(jìn)口深冷泵:1套
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聯(lián)合UNIVAC-2050
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1,2050機(jī)腔
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2,韓國(guó)電子槍單槍 12穴
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3,307真空計(jì)
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4,配三星POLYCOLD深冷
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5,下熱絲(下加熱燈管)
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6,機(jī)械泵275+愛德華2600羅茨泵
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7,一直生產(chǎn)IR CUT ,DVD,三菱鏡
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8, 離子源
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9,IC5晶控儀+單晶控探頭
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10,無阻蒸
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龍翩 1800
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配置清單:
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1,1800機(jī)腔
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2,日本電子雙槍
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3,普發(fā)真空計(jì)
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4,深冷,美國(guó)POLYCOOL 1102
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5,上加熱絲
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6,日本丸山真空機(jī)械泵+愛德華2600羅茨泵
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7,無阻蒸
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8,臺(tái)灣光控:透射光控
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龍翩 1650
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配置清單:
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1,日本電子槍PLASMATECH單槍20穴
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2,普發(fā)真空計(jì),美國(guó)深冷
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3,美國(guó)深冷1臺(tái)美國(guó)POLYCOOL 1102
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4,上加熱絲,有阻蒸
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5,275機(jī)械泵+愛德華EH22600羅茨泵,雙擴(kuò)散泵
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6,XTC-3晶控儀+6點(diǎn)晶控探頭
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7,配置美國(guó)大口徑霍爾源,帶阻蒸
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8,配備大型傘架和上傘車,裝載量大
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9,一直生產(chǎn),DVD,三菱鏡,顏色膜,AR+AF ,PVC膜
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光馳OTFC1300
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型號(hào)
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OTFC1300C
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序列號(hào)
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S0019
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雙槍
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JST-10F-2GUN
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坩堝點(diǎn)數(shù)
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24點(diǎn)+28點(diǎn)
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機(jī)械升壓泵
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EH500
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冷泵
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冷凍U20P*2臺(tái)
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離子源(射頻離子源)
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有
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光學(xué)觀測(cè)(光控&精控)
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有
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基板加熱heater
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有
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回轉(zhuǎn)
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中心回轉(zhuǎn)
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阻蒸
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無
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光馳OTFC1300
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型號(hào)
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OTFC1300DB
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序列號(hào)
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SO567
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雙槍
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JST-10F-2GUN
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坩堝點(diǎn)數(shù)(環(huán)型)
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旋轉(zhuǎn)泵
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24穴
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擴(kuò)散泵
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22*2臺(tái)
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冷凍泵
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PolcoldPFC-670HC
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離子源(射頻離子源)
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無
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光學(xué)觀測(cè)有無(光控&精控)
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有
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基板加熱heater有無
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有
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回轉(zhuǎn)
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中心回轉(zhuǎn)
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阻蒸
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無
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SHOWA昭和SGC-1300R
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腔體
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1300
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電子槍
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雙槍日本電子(24穴+環(huán)型)
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光控
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反射光控
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晶控
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6探頭+6探頭
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加熱
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上加熱方式
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擴(kuò)散泵
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雙泵(SFD-22C)
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機(jī)械泵
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VS2401
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羅茨泵
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PRC-012AS
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離子源
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有
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阻蒸
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無
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韓一 HVC-1200DA
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2,韓一電子槍 12穴
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3,普發(fā)真空計(jì)
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4,下加熱絲
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5,275機(jī)械泵+愛德華1200羅茨泵
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6,一直生產(chǎn)IR CUT ,DVD,三菱鏡
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7,IC5晶控儀+單探頭
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9,單擴(kuò)散泵
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10,無阻蒸
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臺(tái)灣龍翩機(jī)1400
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配置表
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機(jī)械泵
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美國(guó)凱尼真空泵
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羅茨泵
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德國(guó)普發(fā)羅茨泵2000A
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電子槍
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日本PLASMATECH10KW 8點(diǎn)穴
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深冷
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美國(guó)POLYCOLD
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離子源
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美國(guó)KRI考夫曼離子源
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加熱系統(tǒng)
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上烘烤電加熱絲
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氣體流量
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三路美國(guó)布魯克斯流量計(jì)
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晶控膜厚儀
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美國(guó)英福康SQM-160單探頭
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光控
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透射光控
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有阻蒸
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騰勝1800磁控機(jī)
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腔體
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1800
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雙開門
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雙靶
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圓靶
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擴(kuò)散泵
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單擴(kuò)散K-800
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冷凍機(jī)
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有
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真空計(jì)
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國(guó)產(chǎn)復(fù)合真空計(jì)
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南光1100 日本槍
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腔體
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1100MM
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擴(kuò)散泵
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雙泵
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晶振
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單探頭+MDC360
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電子槍
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雙槍(環(huán)型+12點(diǎn)穴)
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真空計(jì)
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國(guó)產(chǎn)復(fù)合真空計(jì)
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無阻蒸
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南光1300 成都南光
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