日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH?

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-17-50-2UH,
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)單級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式同軸式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率15kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍111rpm許用扭矩52000N.m
使用范圍機(jī)械設(shè)備減速比232
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

磁場(chǎng)、真空抽放氣系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)，真空抽 放氣系統(tǒng)由機(jī)械泵、日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH擴(kuò)散泵和相應(yīng)管道、閥門(mén)組成，其特征是真空室由等離日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH子體發(fā)生室，等離子體約束室，處理室組成，等離子體發(fā)生室外套有兩組串接的磁場(chǎng)線 圈，在等離子體約束室周圍均布永久磁鋼，處理室內(nèi)裝有基片架。  


去膠機(jī) 用于半導(dǎo)體集成電路、太陽(yáng)能電池以及功率器件等日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH刻蝕、去膠工藝，刻蝕方式為等離子體各向同性刻蝕。 擴(kuò)散爐 半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中用于對(duì)晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備

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