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  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-10-10
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第1年

青島福潤德微電子設備有限公司

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  • 電話：86-13606426381
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： 生產(chǎn)加工-私營有限責任公司
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
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詳細參數(shù)
品牌福潤德型號福潤德
加工定制是

產(chǎn)品詳情

滿足半導體集成電路，電力電子器件，光電子等行業(yè)用于在硅片上淀積SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。


CVD系統(tǒng)性能特點：


結構形式：1—4管臥式熱壁型
硅片規(guī)格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
溫度范圍：300～1100℃
恒溫區(qū)長度及精度：200ram—1000mm(±1℃／24h)
淀積薄膜均勻性：片內±5％   片間±5％   批間±5％
沉積膜厚度：600～15000A
系統(tǒng)極限真空度：優(yōu)于1Pa
工作壓力范圍：20～133Pa閉環(huán)控制
控制方式：工業(yè)微機
送料裝置：懸臂推拉舟、軟著陸系統(tǒng)
淀積薄膜分類：Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜
真空泵：羅茨泵、機械泵
工藝氣路：5路氣／管。VCR接口
40KHz脈寬調制AE高頻電源
裝片量：200片／舟

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