微控擴散爐，山東青島發(fā)貨，支持全國定制

數量(臺) 價格
1 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-09-29
  • 訪問量：108
咨詢電話：136-0642-6381
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第1年

青島福潤德微電子設備有限公司

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  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經營模式： 生產加工-私營有限責任公司
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：923分
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詳細參數
品牌福潤德型號福潤德
加工定制是

產品詳情

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標：


可處理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：臥式1—4管結構
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩(wěn)定性、重復性： ≤±1℃/24h
溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
可控降溫速率： 5℃／min
送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：全自動MFC
控制方式：工控機、觸摸屏

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