harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)SHD-14-50-2
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式擺線式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比60
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

離子注入  離子注入是亞微米工藝中最常見的摻雜方法。將要摻入的雜質(zhì)harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH ，如砷 (As)、磷（P）、硼（B）注入離子注入機(jī)，經(jīng)過電離，再由高電壓或磁場(chǎng)控制并加速，harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH高能雜質(zhì)離子穿透涂膠硅片的表面，最后進(jìn)行去膠和清洗硅片完成離子注入。

    （5）薄膜生長(zhǎng)  薄膜生長(zhǎng)工藝用來加工出半導(dǎo)體中的介質(zhì)層、金屬層。薄膜工藝包括化學(xué)氣相淀積（CVD）和金屬濺射（物理氣相淀積，PVD）。薄膜產(chǎn)生后需要使用快速退火裝置（RPT）修復(fù)離子注入引入的襯harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH損傷，以及完成金屬的合金化。最后使用濕法清洗設(shè)備進(jìn)行硅片清洗。

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