哈默納科自動(dòng)搬運(yùn)諧波SHD-40-100-2SH

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上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)SHD-40-100-2SH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)均勻載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式分流式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩22N.m
使用范圍軍工減速比432
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

濕度保持在(45±5)%;污染氣體分子保持在十億分之一以下。哈默納科自動(dòng)搬運(yùn)諧波SHD-40-100-2SH為了確保超凈室的清潔度,要使用能夠?yàn)V掉99. 9999%以上的微粒的化學(xué)過濾器。此外,芯片制造環(huán)境的溫度變化和振動(dòng)也會(huì)損害光刻加工時(shí)的對(duì)準(zhǔn)和曝光精度。為了保證曝光機(jī)的納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度,哈默納科自動(dòng)搬運(yùn)諧波SHD-40-100-2SH需要嚴(yán)格控制曝光機(jī)工作環(huán)境的溫度變化,并對(duì)曝光機(jī)安裝基礎(chǔ)進(jìn)行隔振處理。

半導(dǎo)體制造的工程設(shè)備包括凈化室、凈化臺(tái)、晶圓標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口箱、自動(dòng)搬送設(shè)備和環(huán)境控制設(shè)備(超凈水制造、廢氣處理、廢液處理、精制設(shè)備、分析設(shè)備、探測(cè)器)等。哈默納科自動(dòng)搬運(yùn)諧波SHD-40-100-2SH另外還需要一些靜電處理與防護(hù)設(shè)備。

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