產(chǎn)品詳情
一般業(yè)界已使用垂直度極佳,harmonic金屬光阻諧波CSF-32-50-2A-GR然而價(jià)格極昂之干蝕刻機(jī)來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題(價(jià)昂是因?yàn)橐玫胶戎磻?yīng)氣體,所有管路都要考慮防腐蝕)。但學(xué)術(shù)研發(fā)單位,在沒(méi)有干蝕刻機(jī)情況下,一樣可以作出次微米之金屬線,這個(gè)方法稱為「金屬剝離或舉離法」(lift-off)。
調(diào)整芯片鍍金屬與上光阻的順序:首先旋敷光阻,harmonic金屬光阻諧波CSF-32-50-2A-GR以光蝕術(shù)將欲鍍著金屬線路之區(qū)域開(kāi)出窗口(該光罩恰與酸液蝕刻的光罩明暗相反),再進(jìn)行金屬鍍著的工作。此時(shí),大部份金屬可能都鍍著在光阻上。所以金屬鍍著后,只要將芯片浸入丙酮,在光阻遭有機(jī)溶劑harmonic金屬光阻諧波CSF-32-50-2A-GR溶散之際,其上之金屬也跟著被抬離芯片,而只留下沒(méi)有光阻,也就是原來(lái)設(shè)計(jì)之金屬線路。