產(chǎn)品詳情
7134多角度切割機擁有 4" 高功率空氣軸承主軸,30krpm時2.5KW。直流無刷電機,閉環(huán)速度控制。覆蓋 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。
系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺,針對多角度切割進行優(yōu)化,適用各種產(chǎn)品,例如:
·陶瓷基板
·氧化鋁
·混合物
·厚膜設備等
ADT切割機/Dicing 7134系統(tǒng)規(guī)格:
大面積系統(tǒng)配置:300mm x 300mm
刀片尺寸:4"-5"
主軸:空氣軸承,直流無刷,30 krpm/2.5 kW
分度軸(y)
驅(qū)動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
控制:線性編碼器
分辨率:0.2 μm
累積精度:1.5 μm
分度精度:1.0 μm
傳送軸(X)
氣動滑塊
驅(qū)動裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無刷電機
傳送速度:高達 600 mm/sec
切割深度軸(z)
驅(qū)動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
分辨率:0.2 μm
精度:2.0 μm
重復精度:1.0 μm
行程:50 mm
旋轉(zhuǎn)編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達3" - 可選
旋轉(zhuǎn)軸
驅(qū)動:閉環(huán)、直接驅(qū)動、直流無刷
精度:4 arc-sec
重復精度:4 arc-sec
行程:350度
了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_dicer/
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