最終清洗機(jī)

數(shù)量(臺) 價格
10 100000.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 江蘇 南通市
  • 發(fā)布日期：2020-07-09
  • 訪問量：911
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第5年

江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人：洪鎰
  • 手機(jī)：18012438716
  • 電話：-
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： 生產(chǎn)加工-私營有限責(zé)任公司
  • 所在地區(qū)：江蘇 南通市
  • 家家通積分：393分
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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號定制
加工定制是外形尺寸其他
產(chǎn)地其他

產(chǎn)品詳情

設(shè)備用途:

清洗槽用于6/8吋兼容，集成電路制造工藝的最終清洗。配合LOAD and

UNLOAD的上下料，實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出，每批次50枚Cassette Type的高效清洗。共有三種工藝槽，三水槽+一個干燥單元：

1個DHF清洗槽、1個OF槽、1個SC-1槽、1個QDR槽、1個SC-2槽、1個QDR槽、1個干燥槽。

設(shè)備功能:

Chemical BATH: 自動換酸，自動洗槽，自動槽內(nèi)配比。

DIW BATH : Pre Flow and After Change Function。

S/D : 6/8 Inch 自動換位，旋干。

機(jī)械手臂:Chuck Open/Close Type，Speed 為可控變動；

Scheduler: 排程計算，實(shí)現(xiàn)多批次同時清洗，不發(fā)生Process Over Time。

Safety: Door，TEMP，LEVEL，Exhaust…等等INTERLOCK Safety。

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