產(chǎn)品詳情
處理方式:
通過高壓震蕩風(fēng)吹出把工作物表面粉塵吹離膜面,再利用負壓風(fēng)同時帶離
表面,造成無接觸式除塵,是一種高效安全清潔的干式去除粉塵設(shè)備
需要去除的產(chǎn)品表面的污染物類型:主要是干燥的顆粒浮塵; (粘性塵埃
及水跡不能處理)
除去率:1.6 um, 3μm-5μm≥98%
工作尺寸:點狀或長度L=20-500mm(超過500mm亦可訂制)
干式清洗特點:
- 干式清洗不需要更換水或藥液,洗后不用干燥,降低運行成本
- 非接觸式系統(tǒng)不會污染基板及損傷基板表面膜
- 由于清洗機是閉循環(huán)系統(tǒng),不會污染凈化間