產(chǎn)品詳情
高溫爐管升至工作溫度后,把待擴(kuò)散晶圓推入爐中哈默納科蒸汽諧波齒輪CSG-50-120-2UH,然后開(kāi)始釋放擴(kuò)散源(p型擴(kuò)散源通常是固體呈晶圓狀之氮化硼【boron-nitride】芯片,n型則為液態(tài)POCl3之加熱蒸氣)進(jìn)行擴(kuò)散哈默納科蒸汽諧波齒輪CSG-50-120-2UH。其濃度剖面外形之特征是雜質(zhì)集中在表面,表面濃度最高,并隨深度迅速減低,或是說(shuō)表面濃度梯度(gradient)值極高。
3、后驅(qū)入(postdrive-in)? 第二種定攙雜量的邊界條件,哈默納科蒸汽諧波齒輪CSG-50-120-2UH具有高斯分布(Gaussiandistribution)的濃度解析解。對(duì)應(yīng)之?dāng)U散處理程序叫做「后驅(qū)入」,即一般之高溫退火程序;基本上只維持爐管的驅(qū)入工作溫度.