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凈化間是硅片制造設備與外部環(huán)境隔離,免受諸如顆粒、日本HD硅片加工諧波CSF-32-50-2A-GR金屬、有機分子和靜電釋放(ESD)的玷污。一般來講,那意味著這些玷污在最先進測試儀器的檢測水平范圍內都檢測不到。凈化間還意味著遵循廣泛的規(guī)程和實踐,以確保用于半導體制造的硅片生產設施免受玷污。
自然氧化層:如果曝露于室溫下的空氣或含溶解氧的去離子水中,日本HD硅片加工諧波CSF-32-50-2A-GR硅片的表面將被氧化。這一薄氧化層稱為自然氧化層。硅片上最初的自然氧化層生長始于潮濕,當硅片表面暴露在空氣中時,一秒鐘內就有幾十層水分子吸附在硅片上并滲透到硅表面,這引起硅表面甚至在室溫下就發(fā)生氧化。自然氧化層引起的問題是:①將妨礙其他工藝步驟,如硅片上單晶薄膜的生長和超薄氧化層的生長。②另一個問題在于金屬導體的接觸區(qū),如果有氧化層的存在日本HD硅片加工諧波CSF-32-50-2A-GR,將增加接觸電阻,減少甚至可能阻止電流流過。