產(chǎn)品詳情
日本MAGNESCALE線性編碼器BS78角度編碼器原件進(jìn)口
BS78
高速和高分辨率,同時(shí)保持穩(wěn)定的超精密測(cè)量。適用于精密載物臺(tái)、半導(dǎo)體檢查/制造系統(tǒng)和超精密加工機(jī)器。
高分辨率標(biāo)尺,信號(hào)間距約為 138 nm,優(yōu)于光波干涉儀系統(tǒng)
穩(wěn)定性高,不受濕度、氣壓和空氣擾動(dòng)的影響
參考點(diǎn)精度:±0.1 μm
刻度精度:±0.04 μm(測(cè)量長(zhǎng)度:40 mm)
非接觸式設(shè)計(jì)消除了返回錯(cuò)誤。
測(cè)量長(zhǎng)度 : 40 至 420 mm, 9 種類型 (-R/-RS)
測(cè)量長(zhǎng)度 : 10 至 420 mm, 10 種 (-N/-NS)
提供特殊的非磁性和真空兼容型號(hào)
使用低膨脹玻璃:-0.7 x10 -6 °C(測(cè)量長(zhǎng)度:10 至 420 mm)
分辨率 : 2.1 pm
規(guī)格
Laserscale 使用半導(dǎo)體激光器。激光束對(duì)人體有害,請(qǐng)勿直視檢測(cè)頭部分。
Magnescale 保留更改產(chǎn)品規(guī)格的權(quán)利,恕不另行通知。
模型 BS78
測(cè)量長(zhǎng)度 10 (僅 N/NS) / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420
總體長(zhǎng)度 58 mm (L = 10 mm : 開放式刻度), L +26 mm (L = 40 mm 至 420 mm)
L : 測(cè)量長(zhǎng)度
醉大限度。旅行 L + 2 mm (L = 10 mm : 開放式刻度), L +10 mm (L = 40 mm 至 420 mm)
L: 測(cè)量長(zhǎng)度
刻度精度(20 °C 時(shí))
NS型、RS型:
±0.03 μm (L = 10 mm : NS 型)
±0.04 μm (L = 40 mm)
±0.10 μm (L = 70 / 120 mm)
±0.18 μm (L = 170 / 220 mm)
±0.25 μm (L = 270 mm)
±0.34 μm (L = 320 mm)
±0.39 μm (L = 370 mm)
±0.44 μm (L = 420 mm)
L : 測(cè)量長(zhǎng)度
N型、R型:
±0.06 μm (L = 10 mm : N 型)
±0.08 μm (L = 40 mm)
±0.20 μm (L = 70 / 120 mm)
±0.35 μm (L = 170 / 220 mm)
±0.50 μm (L = 270 / 370 mm)
±0.65 μm (L = 420 mm)
L : 測(cè)量長(zhǎng)度
光柵間距 大約 0.55 微米
信號(hào)間距 大約 0.138 μm(約 138 nm)
參考點(diǎn)精度 ±0.1 μm(僅 R/RS 型)
參考點(diǎn)位置 在中心,以及從中心向左和
向右每 50 毫米(測(cè)量長(zhǎng)度為 320、370、420 毫米的 BS78 型號(hào):
從中心以 50 毫米的間隔偏移 20 毫米)
參考點(diǎn)檢測(cè)方向 單向
熱膨脹系數(shù) -0.7×10 -6 /℃
光源 半導(dǎo)體激光器:波長(zhǎng) 790 nm,輸出 6 mW
輻射功率 DHHS 1 級(jí)
檢測(cè)原理 衍射光柵掃描系統(tǒng)
工作溫度 +10 至 +30 °C(無(wú)冷凝)
儲(chǔ)存溫度 -10 至 50 °C(濕度 60% 或更低)
醉大限度。響應(yīng)速度 400 毫米/秒
優(yōu)勢(shì)品牌如下:
儀器儀表:FLUKE、MEGGER、Time electronics、CATU、泰克、吉時(shí)利、
Metrel、Chauvin-arnoux、Amprobe、Flir、ELMA、TTI,Simpson,calmet 等
傳感器&光電開關(guān):Schneider,Honneywell,balluff,sick,omron,kistler,
pilz,ifm,banner,wenglor,autonics,S+S,Micronor,solar,schmidt,thermo
sensor,wilcoxon,,Endevco,althen,Solar 等
流量計(jì)過(guò)濾器: ELIS PLZEN、ETI、MP FILTRI,等
電機(jī)伺服編碼器:EMS、ESITRON、MICRONOR、FENAC、Baumer、林德、TR、
ELTRA,posital,Hengstler,OEMER,等
連接件軸承:SKIFFY、RAFI、Harting,ilme, LAUMAS、PIZZATO、TELWIN、
SELET SENSOR、TECNA、NIEDAX 橋架等
氣缸液壓缸:AURORA、CONFORTI、LJM,F(xiàn).lli Giacomello 等
溫濕度傳感器:S+S REGELTECHNIK、E+E、MADGETECH 等
如有任何歐美產(chǎn)品需求,請(qǐng)與我們聯(lián)系
免責(zé)聲明:內(nèi)容來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)收集整理,僅供參考;本站僅僅是為了更好地提供歐美MRO工業(yè)品備件產(chǎn)品信息,方便用戶查找、認(rèn)識(shí)歐美工業(yè)備品備件。如有疑問(wèn),請(qǐng)致電我司。