產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：BRONKHORST氣體流量計FF-M1x
產(chǎn)品型號：FF-M1x
產(chǎn)品介紹
FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質(zhì)量流量/壓力計適用于在真空和17 bar（a）之間的工作壓力下測量0…500 mln/min和0…20 ln/min之間的流量范圍。該儀器結(jié)合了基于毛細管MEMS技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器和準(zhǔn)確可靠的旁路結(jié)構(gòu)。由于獨特的TCS技術(shù)（通過芯片傳感器），建立了與溫度和管路壓力變化無關(guān)的準(zhǔn)確質(zhì)量流量測量。結(jié)合集成的溫度和上下游壓力傳感器，22種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫可實現(xiàn)準(zhǔn)確的車載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀表為用戶提供有用的過程信息：
-型號FF-M10：流量+溫度
-型號FF-M11：流量+溫度+上下游壓力
性能特點
l 緊湊型氣體質(zhì)量流量和壓力表
l 集成氣體轉(zhuǎn)換模塊
l 22種氣體嵌入
l 多參數(shù)輸出：質(zhì)量流量、溫度和壓力
l USB-C和藍牙通信
l Namur NE107狀態(tài)指示
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：荷蘭
流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500 mln/min
Max.0…20 ln/min（基于N2）
壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）
精度（包括線性度）（基于實際校準(zhǔn)）：高達±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；
對于其他氣體，增加轉(zhuǎn)換不確定性；
重復(fù)性
流量傳感器：<±0,2%Rd；
壓力傳感器：<±0,2%FS
減速比：高達1:1000
工作壓力：max.16 bar g
22種獨特氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數(shù)據(jù)
響應(yīng)時間（傳感器）：<30 ms（T63）
3年內(nèi)長期穩(wěn)定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS
安裝：任何位置，姿態(tài)靈敏度可忽略不計
溫度傳感器靈敏度：zero 00015%FS/oC；span 0,03%Rd/oC；
壓力傳感器靈敏度：zero 0,16 mbar/oC；span 0,05%Rd/oC
溫度精度：±0,2oC（儀器本體溫度）
壓力傳感器精度：±0,5%FS
壓力敏感度（標(biāo)準(zhǔn)）：<0,15%Rd/bar，典型N2；
壓力校正：<0.02%Rd，典型N2
泄漏完整性，外側(cè)測試：<2 x 10-9 mbar l/s He
機械部分
儀表本體：鋁或不銹鋼（可選）
材料（接液部件）：鋁、不銹鋼、氮化硅、環(huán)氧樹脂、氧化鋁、玻璃
表面質(zhì)量：<1.6μRa（不銹鋼閥體<0.8μRa）
壓力等級（PN）：16 bar（g）/250 psig
工藝連接可選：壓縮式、推入式或端面密封聯(lián)軸器
密封件默認值：FKM 51415；
其他材料：請聯(lián)系工廠
重量：200 g，鋁閥體，300 g，不銹鋼316閥體
防護等級：IP40
電氣特性
電源：24 Vdc±10%
功耗：max.0,35 W
數(shù)字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可選）
支持USB-C接口，便于設(shè)置；
用于監(jiān)控的可選藍牙連接
電氣連接：9針D-sub（公頭）
