產品詳情
MLase AG 高功率準分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000 系列型號
品牌背景:
MLase股份公司
自TuiLaser AG的前成員于2007年12月創(chuàng)立MLase以來,我們致力于開發(fā)和生產創(chuàng)新的高質量激光和光系統(tǒng),這是由高度專業(yè)化的專家團隊積累多年經驗的結果。MLase AG考慮到最新的技術方面,為客戶提供高質量的產品。MLase AG的質量管理通過了EN ISO 13485:2016認證。
MLI 系列準分子激光器特點:
1.MLI 系列設備為工業(yè)應用提供具有直接波長的準分子激光器。具有市場上最長的正常運行時間和可靠性以及的運營成本。由于均勻的光束輪廓和能量穩(wěn)定性,適用于要求苛刻的應用。
2.MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的重復頻率。
3.當然,如果需要,標準設置的激光器可以根據(jù)個人需求進行調整。如:準分子激光器可用的波長為 193 nm(氣體:ArF 氟化氬)和 248 nm(氣體:KrF 氟化氪)。可根據(jù)要求提供其他波長如157nm等,也可以提供如高功率版本HP
MLI 系列準分子激光器型號:
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLase AG高功率 MLI-HP-KrF 500 / 1000規(guī)格參數(shù):
主要功能
?堅固緊湊
設計:
?高可靠性,易于集成
?電暈預電離?均勻光束輪廓
?固態(tài)電路?立即可用,無老化
?卡套管技術?卡套管全金屬密封
?數(shù)十億脈沖的延長壽命
?能量監(jiān)測器?能量穩(wěn)定
?RoHS、CE、CDRH
順從的
?滿足主要政府法規(guī)
?空氣冷卻管
?水冷管*
?占空比10%(1000Hz)循環(huán)時間最大30分鐘
?占空比20%(500Hz)循環(huán)時間最大30分鐘
?占空比100%24/7
重量/設施/尺寸
重量應用程序。80千克
冷卻空氣
冷卻水*
電氣230V,50/60Hz,最大2300W。
尺寸(長x寬x高)560 x 355 x 445mm
參數(shù)KrF:
波長(nm)248
最大重復頻率(Hz)500/1000
穩(wěn)定脈沖能量(mJ)14
最大脈沖能量(mJ)20
光束尺寸(FWHM,V x H mm)6x3
光束發(fā)散度(FWHM,V x H mrad)2x1
平均脈沖持續(xù)時間(FWHM)(ns)8-9