LUMENTUM調(diào)Q激光器Q-Series

產(chǎn)品名稱：LUMENTUM調(diào)Q激光器Q-Series

產(chǎn)品型號：Q301-HD-1000R，Q302-HD-1000R，Q303-HD-1000R，Q304-HD-1000R

產(chǎn)品介紹

Lumentum Q 系列激光器用于各種高精度微加工應(yīng)用的高功率 Q 開關(guān)二極管泵浦紫外和綠光激光器市場。無論是對陶瓷等材料進(jìn)行高脈沖能量處理、對藍(lán)寶石或硅等材料進(jìn)行高重復(fù)率處理，還是對薄膜太陽能電池進(jìn)行圖案化，Q 系列激光器都能提供高性能和正常運(yùn)行時間。

性能特點(diǎn)

l 高的商用脈沖能量和峰值功率

l 由于獨(dú)特的腔內(nèi)諧波產(chǎn)生實(shí)現(xiàn)了能量穩(wěn)定性，因此更嚴(yán)格的過程控制

l 由于脈沖能量、脈沖寬度和重復(fù)頻率的選擇范圍廣，因此能夠處理廣泛的材料

l 由于諧波晶體中的低能量密度和暴露于紫外線的無腔光學(xué)涂層，可靠性高

l 提供 355 和 532 nm 輸出

l 可根據(jù)要求定制

選型指南

可選功能與配件

Q-PS-1000R：標(biāo)準(zhǔn)電源

Q-PS-A30R：3 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A50R：5 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A70R：7 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A100R：10 米柔性臍帶電纜

QA-CH：標(biāo)準(zhǔn) 110 VAC

QA-CH-E：歐洲 220 VAC

QA-CH-A11：一對 3 m 軟管，直/直接頭

QA-CH-A12：一對 5 m 軟管，直/直接頭

QA-CH-A21：一對 3 m 軟管，直角/直型接頭

QA-CH-A22：一對 5 m 軟管，直角/直型接頭

QA-CH-A31：一對 3 m 軟管，直角/直角接頭

QA-CH-A32：一對 5 m 軟管，直角/直角接頭

技術(shù)參數(shù)

波長：355 納米

極化：>100:1

空間模式 TEM00

M-平方：<1.2

腰部位置（內(nèi)部，從光束出口）：42±0.4 cm

腰部直徑 1/e：0.26 mm 標(biāo)稱

光束圓度：>85% 圓形

光束發(fā)散角，全角：1.8±0.35 mrad

（Q304-HD-1000R：2.0±0.35 mrad）

光束指向漂移，全角：<10 μrad/°C

指向漂移，超過 8 小時，全角度：2 <50 μrad

光束位置精度，單位到單位：從標(biāo)稱<2.5 mm

光束指向精度，單位到單位：從標(biāo)稱<1°

控制器重復(fù)率

內(nèi)部觸發(fā)：1 kHz 至 250 kHz

外部觸發(fā)：0 至 250 kHz

8 小時內(nèi)的功率漂移： <±2%

熱身時間

從冷啟動：<20 分鐘

從待機(jī)：<10 分鐘

工作環(huán)境溫度：15 至 35°C

相對濕度，非冷凝：10 至 80%

重量：14.5 公斤

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓劃線

全切割晶圓切割

低k介電開槽

硅、藍(lán)寶石、陶瓷和金屬的微加工

微孔鉆孔

PCB和柔性板切割

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