產(chǎn)品詳情
MLase MLI-200 / 500 / 1000 準(zhǔn)分子激光器適用于高校研究實驗
MLI準(zhǔn)分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=類型，500 =重復(fù)率； KrF = 波長 248 nm；
電暈預(yù)電離
固態(tài)電路
管技術(shù)
能量監(jiān)視器 RoHS,CECDRH 合規(guī)
緊湊型準(zhǔn)分子激光單相
MLase MLI-200 / 500 / 1000 優(yōu)勢：
高可靠性
均勻的光束輪廓
即時可用，不老化
管子全金屬密封
數(shù)十億個脈沖的延長壽命
能量穩(wěn)定
滿足主要政府法規(guī)
易于操作易于集成
占空比 20%(1000Hz)
占空比30%(500Hz)10min on 20min off
占空比(200Hz)
MLase MLI-200 / 500 / 1000 數(shù)據(jù)：
范圍 規(guī)格
范圍 ArF ArF ArF ArF ArF ArF
波長(nm) 193 193 193 248 248 248
重復(fù)率(Hz) 200 500 1000 200 500 1000
穩(wěn)定脈沖能量(mJ) 6 6 6 10 10 10
穩(wěn)定脈沖功率(W) 1.2 3 6 2 5 10
能量穩(wěn)定性(sigma%) 2 2 2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,Vx Hmm) 6*3 6*3 6*3 6*3 6*3 6*3
光束發(fā)散度(FWHM,Vx H mrad) 2*1 2*1 2*1 2*1 2*1 2*1
脈沖持續(xù)時間(FWHM)(ns) 5-10 5-10 5-10 5-10 5-10 5-10
MLI準(zhǔn)分子激光器
MLI 500 KRF
MLase MLI-200 / 500 / 1000 準(zhǔn)分子激光器適用于高校研究實驗
MLI準(zhǔn)分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=類型，500 =重復(fù)率； KrF = 波長 248 nm；
MLase MLI-200 / 500 / 1000 主要特征:
剛性設(shè)計電暈預(yù)電離
固態(tài)電路
管技術(shù)
能量監(jiān)視器 RoHS,CECDRH 合規(guī)
緊湊型準(zhǔn)分子激光單相
MLase MLI-200 / 500 / 1000 優(yōu)勢：
高可靠性
均勻的光束輪廓
即時可用，不老化
管子全金屬密封
數(shù)十億個脈沖的延長壽命
能量穩(wěn)定
滿足主要政府法規(guī)
易于操作易于集成
占空比 20%(1000Hz)
占空比30%(500Hz)10min on 20min off
占空比(200Hz)
MLase MLI-200 / 500 / 1000 數(shù)據(jù)：
范圍 規(guī)格
范圍 ArF ArF ArF ArF ArF ArF
波長(nm) 193 193 193 248 248 248
重復(fù)率(Hz) 200 500 1000 200 500 1000
穩(wěn)定脈沖能量(mJ) 6 6 6 10 10 10
穩(wěn)定脈沖功率(W) 1.2 3 6 2 5 10
能量穩(wěn)定性(sigma%) 2 2 2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,Vx Hmm) 6*3 6*3 6*3 6*3 6*3 6*3
光束發(fā)散度(FWHM,Vx H mrad) 2*1 2*1 2*1 2*1 2*1 2*1
脈沖持續(xù)時間(FWHM)(ns) 5-10 5-10 5-10 5-10 5-10 5-10
MLI準(zhǔn)分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=類型，500 =重復(fù)率； KrF = 波長 248 nm；
MLase MLI-200 / 500 / 1000 準(zhǔn)分子激光器適用于高校研究實驗
