產(chǎn)品詳情
濺鍍雖是物理鍍膜的方法,但與蒸發(fā)毫無關(guān)系。就如同將石頭丟入一灘泥沼中,哈默納科直流階梯諧波CSF-14-100-2A-R會噴濺出許多泥漿般,濺鍍利用氬氣電漿,高速沖擊受鍍靶材(target),因而將靶材表面附近材質(zhì)噴濺出來,落至晶圓之上。哈默納科直流階梯諧波CSF-14-100-2A-R由于靶材是一整面而不是一點接受轟擊,所以噴濺出來的材質(zhì),也有可能填塞到芯片表面階梯死角的部位,而比較哈默納科直流階梯諧波CSF-14-100-2A-R沒有斷線不連續(xù)或所謂階梯披覆的問題。? 濺鍍也依電漿受激之能量源不同,分為直流(DC)與射頻(RF)兩種。