產(chǎn)品詳情
●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機(jī)械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。
●真空腔體：φ650X700雙層水冷；（可根據(jù)實(shí)際需求定制）
●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；
●真空抽速：1600L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì)，全金屬防爆真空規(guī)；
●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）
●磁控靶組件：4個矩形靶，3個圓形靶，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
●離子源：1套線性離子源，匹配專用電源；
●氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)，1路毛細(xì)保護(hù)氣路；
●烘烤溫度：300℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；
●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動小車一輛；
●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。
